化学機械、機器、装置及びその部品の販売並びに機械器具設備業の日東機器ファインテック

TOC連続測定システム

半導体洗浄に使用される超純水や製薬業界にて使用されるWFI(注射用水)・PW中に含まれるTOC(全有機炭素)は短波長(184.9nm)によって酸化・分解され中間反応体を経た後に最終的に二酸化炭素になります。

従来は、バッチ方式による測定やポンプ等の駆動部を使用した構造を主体とした測定技術が主流でしたが、各測定技術のデメリットを補うことにより、瞬時のTOCの増減や水質変動を精度良く検出することが可能となり、更には、フリーメンテナンス、ランニングコストの低減をも実現することが可能となりました。
紫外線照射量、サンプル水量、測定アルゴリズムを制御・応用することによりサンプル水の酸化前後の導電率量の増減を指標としTOC(全有機炭素)の測定を行います。

特長

・USP/EP対応
・TOC 1ppb以下の超純水に完全対応
・完全なインライン連続測定が可能